2D-Materialien

Zweidimensionale Materialien wie bspw. das Übergangsmetalldichalkogenid Molybdändisulfid (MoS2) besitzen einzigartige Eigenschaften, die sie für die wissenschaftliche Forschung und für die Elektronik, Optoelektronik, Sensorik und Photovoltaik interessant machen. Insbesondere der zweidimensionale direkte Halbleiter MoS2 ist für den Einsatz in ultradünnen elektronischen und optoelektronischen Bauelementen prädestiniert. Eine große Zahl solcher Anwendungen wurde bereits als Proof-of-Concept mit viel versprechenden Ergebnissen demonstriert.

Die derzeit größte Herausforderung in Bezug auf 2D-Materialien liegt in deren Herstellung. Es fehlt an einem Prozess zur reproduzierbaren, homogenen und großflächigen Abscheidung, was wiederum die Entwicklung von Bauelementen und Schaltungen und eine Implementierung in bestehende Technologien wie z. B. CMOS erschwert. Als erfolgversprechendste Herstellungsmethode wird die metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) angesehen. Gemeinsam mit der AIXTRON SE entwickeln wir daher einen MOVPE-Prozess für die Abscheidung von 2D-MoS2 und 2D-WS2 auf einer kommerziellen Anlagenplattform sowie die zugehörige Charakterisierungs- und Prozessierungstechnologie.