GaN-Bauelementtechnologie

Im Bereich der Bauelementtechnologie liegen die Schwerpunkte auf der Untersuchung des Einflusses von Material- und Prozesstechnologie auf die Bauelementperformance und auf der Entwicklung neuer Prozessmodule für elektronische Bauelemente. Dazu gehören:

• Untersuchung von Substrateffekten und Design von Schichtstrukturen für Hochfrequenz- und Leistungstransistoren
• Bauelemente-Charakterisierung und TCAD-Simulation
• Entwicklung neuartige Prozessmodule wie selektive Epitaxie, neue Gate-Dielektrika
• Untersuchung und Entwicklung temperaturstabiler Kontakte
• Design und Prozessentwicklung für neuartige vertikale Bauelementkonzepte