GaN-Bauelementtechnologie

Im Bereich der Bauelementtechnologie liegen die Schwerpunkte auf der Untersuchung des Einflusses von Material- und Prozesstechnologie auf die Bauelementperformance und auf der Entwicklung neuer Prozessmodule für elektronische Bauelemente. Dazu gehören:

  • Untersuchung von Substrateffekten und Design von Schichtstrukturen für Hochfrequenz- und Leistungstransistoren
  • Bauelemente-Charakterisierung und TCAD-Simulation
  • Entwicklung neuartige Prozessmodule wie selektive Epitaxie, neue Gate-Dielektrika
  • Untersuchung und Entwicklung temperaturstabiler Kontakte
  • Design und Prozessentwicklung für neuartige vertikale Bauelementkonzepte