Standorte
Rotationsgebäude (vorm. Walter-Schottky-Haus)
Hauptstandort vom Lehr- und Forschungsgebiet Technologie der Verbindungshalbleiter ist das Rotationsgebäude (vorm. Walter-Schottky-Haus, kurz WSH,) im Erweiterungsgelände CAMPUS Melaten.
Im Walter-Schottky-Haus sind die Gallium-Nitrid- und die Organik-Arbeitsgruppe sowie einige ihrer Reinräume mit Ausrüstung zur Materialcharakterisierung und Processing-Equipment untergebracht.
Adresse:
Sommerfeldstr. 18
52074 Aachen
Zur Anfahrt können Sie den Routenplaner im RWTH Lageplan nutzen.
Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie (Modul 1)
Das Lehr- und Forschungsgebiet Technologie der Verbindungshalbleiter verfügt außerdem über Reinraumflächen (GaN-Epitaxie etc.) im Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie (ZMNT, Modul 1) der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik.
Adresse:
Otto-Blumenthal-Str. 4
52074 Aachen
AIXTRON-Verfügungszentrum
Der zweite Standort ist das AIXTRON-Verfügungszentrum (AIX-VZ). Dort befindet sich das Depositions-Labor mit MOCVD-, OVPD-, CVD- und PVPD-Anlagen für die Abscheidung anorganischer und organischer Schichten.
Adresse:
Kackertstraße 15-17
52072 Aachen